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超純水の科学
福本 隼明/久保田 昌治/松下 嘉明/福本 隼明/矢部 江一/牛越 健一/杉山 勇/八巻 由孝/篠田 猛/池上 理一/神藤 郁夫/本村 敬人/河本 宏実/監修/ 大見忠弘 東北大学/新田雄久 UCS半導体基盤技術研究会/ 原田宙幸 三菱商事/大見 忠弘/新田 雄久/原田 宙幸
半導体製造におけるクローズドシステム
大見 忠弘/柴田 直/桑原 英司/宮脇 守/後藤 陽宏/佐々木 真/浦野 智秋/小野寺 政信/野仲 徹/堀越 基伸/横田 晃/泊里 治夫/浜田 汎史/仲原 喜行/前野 又五郎/中川 佳紀/泉 浩人/三木 正博/大見 忠弘/新田 雄久/UCS半導体基盤技術研究会