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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用
金原粲著
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オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製・制御技術
[金原粲ほか執筆]
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薄膜 : その機能と応用
金原粲 [ほか] 編著
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真空・薄膜徒然草
金原粲著
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応用物理実験学
金原粲編著
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薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性
金原粲 [ほか編]
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薄膜の基本技術
金原粲著
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薄膜の基本技術
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薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性
金原粲 [ほか] 編
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