最新シリコンデバイスと結晶技術 -先端LSIが要求するウエーハ技術の現状-

福田 哲生（著） 松川 和人（著） 三浦 英生（著） 小椋 厚志（著） 津屋 英樹（著） 佐藤 俊哉（著） 渡辺 正晴（著） 原田 博文（著） 林 健郎（著） 泉妻 宏治（著） 末岡 浩治（著） 中居 克彦（著） 佐藤 信彦（著） 吉見 信（著） 柿崎 恵男（著） 松村 篤樹（著） 高田 清司（著） 今井 正人（著） 林 信行（著） 柿本 浩一（著） 鹿島 一日兒（著） 守矢 一男（著） 中嶋 健次（著） 磯貝 宏道（著） 戸田 昭夫（著） 清水 博文（編集） 池田 和子（編集） 高田 清司（編集） 福田 哲生（編集）